ZL850型多晶硅铸锭炉技术指标
硅锭尺寸
996mm×996mm×370mm
生产率
750kg~850kg/炉
生产周期
800kg锭~74hr,产能~9.5MW/年
**温度
1600℃
常用工作温度
1560℃
硅锭生长速率
1.0-1.2cm/hr
炉内极限真空度
1Pa
系统漏率
<0.0075Pa.m3/s
氩气
~140m3/锭
冷却水
约140L/min
额定加热功率
165kW
每炉加热器功耗
~4400度(投料800kg)
其他能耗
~650度
单位能耗
~6.8度/kg
铸锭良率
平均大于70%(正常配料)
转换效率
17.5%-17.7%
准单晶生产能力
具备
高效多晶生产能力