ZL650型多晶硅铸锭炉技术指标
硅锭尺寸
840mm×840mm×390mm
生产率
600kg~650kg/炉
生产周期
~70hr,产能~7.5MW/年
**温度
1600℃
常用工作温度
1560℃
硅锭生长速率
1.2-1.4cm/hr
炉内极限真空度
1Pa
系统漏率
<0.0075Pa.m3/s
氩气
~100m3/锭
冷却水
约140L/min
额定加热功率
165kW
每炉加热器功耗
~4000度(投料650kg)
其他能耗
~500度
单位能耗
~7度/kg
铸锭良率
平均大于70%(正常配料)
转换效率
17.4%-17.6%
准单晶生产能力
具备
高效多晶生产能力